Trong lịch sử, cùng với sự phát triển của thực tiễn và nhận thức khoa học,chủ nghĩa duy vật đã trải qua ba hình thức cơ bản là: Chủ nghĩa duy vật chất phác, chủ nghĩa duy vật siêu hình và chủ nghĩa duy vật biện chứng.

Chủ nghĩa duy vật chất phác là hình thức sơ khai của chủ nghĩa duy vật. Trong khi thừa nhận tính thứ nhất của vật chất, chủ nghĩa duy vật chất phác đã lý giải toàn bộ sự sinh thành của thế giới từ một hoặc một số dạng vật chất cụ thể, cảm tính, coi đó là thực thể đầu tiên, là bản nguyên của thế giới. Những lý giải đó được thể hiện trong nhiều học thuyết duy vật thời cổ đại ở Trung Quốc, Ấn Độ và Hy Lạp.

Tuy còn rất nhiều hạn chế nhưng chủ nghĩa duy vật chất phác về cơ bản là đúng vì nó đã lấy bản thân vật chất của giới tự nhiên để giải thích về thế giới.

Chủ nghĩa duy vật siêu hình là hình thức cơ bản thứ hai của chủ nghĩa duy vật, thể hiện tiêu biểu trong lịch sử triết học Tây Âu thế kỷ XVII-XVIII. Đặc điếm lớn nhất của chủ nghĩa duy vật thời kỳ này là phương pháp tư duy siêu hình trong việc nhận thức về thế giới.

Tuy chưa phản ánh đúng thế giới trong mối liên hệ phổ biến và sự phát triển nhưng chủ nghĩa duy vật siêu hình đã góp phần quan trọng trong việc chống lại thế giới quan duy tâm và tôn giáo, nhất là giai đoạn lịch sử chuyển tiếp từ thời Trung cổ sang thời Phục hưng ở các nước Tây Âu.

 Chủ nghĩa duy vật biện chứng là hình thức cơ bản thứ ba của chủ nghĩa duy vật, do C.Mác và Ph.Ăngghen sáng lập, V.I.Lênin và những người kế tục ông bảo vệ và phát triển. Với sự kế thừa tinh hoa của các học thuyết triết học truớc đó và sử dụng triệt để những thành tựu khoa học tự nhiên đương thời, chủ nghĩa duy vật biện chứng ngay từ khi mới ra đời đã khắc phục được hạn chế của chủ nghĩa duy vật chất phác thời cổ đại và chủ nghĩa duy vật siêu hình thời cận đại Tây Âu, đạt tới trình độ là hình thức phát triển cao nhất của chủ nghĩa duy vật trong lịch sử. Trên cơ sở phản ánh đúng đắn hiện thực khách quan trong mối liên hệ phổ biến và sự phát triển, chủ nghĩa duy vật biện chứng đã cung cấp công cụ vĩ đại cho hoạt động nhận thức khoa học và thực tiễn cách mạng.